蓝宝石衬底性能及检测方法介绍1弯曲度 [复制链接]

蓝宝石晶体具有硬度高、熔点高、光透性好、热稳定性好和化学性质稳定等优良特性，在国防、航空航天、工业以及生活领域中得到广泛应用，特别适合作LED的衬底材料。

蓝宝石衬底片的质量对后续GaN外延层的生长以及制备蓝光二极管的性能和成品率有很大的影响，生产高质量的衬底片，不仅需要优良的衬底片制备工艺技术，衬底片质量的检测技术也是一个非常重要的环节。

蓝宝石衬底的平坦度是衡量衬底质量的关键指标之一，目前行业内对蓝宝石平坦度的